早已廢棄的光刻生產(chǎn)大樓

那時沒有電梯，全靠人力肩扛手抬的搞到了二樓的操作間。光刻機(jī)的趨形已現(xiàn)的時，我驚奇的發(fā)現(xiàn)上面的顯微鏡頭是平行的。上下可調(diào)，完全不受操作者的坐姿身高影響。和我們當(dāng)時通用顯微鏡頭的方向完全不一樣，這樣平行的鏡頭如何能看到位于下端的光刻掩模板呢？后來才發(fā)現(xiàn)，原來是光纖連接的。我仔細(xì)的觀察了一下光纖，上面有日文字樣，應(yīng)該是日本生產(chǎn)的。顯微鏡頭的清晰度顯然比國產(chǎn)的要高很多，且背光為綠色，比原來紅色的背光更能讓眼睛不易疲勞。

     平?jīng)鰡挝坏耐疽挂岳^日的對照著圖紙小心裝配，一絲都不馬虎。歷時一月左右終于安裝完成，就等我們驗(yàn)收了。

這臺光刻機(jī)的制造單位至今我都沒有搞清楚，所有相關(guān)的信息都被有意的抹去了，屬于程序控制的半自動設(shè)備。雙面光刻，上下鏡頭可切換。把晶圓片放在固定的平臺上由機(jī)械手真空吸附抓取，然后自動放在光刻掩模板下。由操作工將圖形稍作調(diào)整再按自動鍵進(jìn)入下一步流程。

但不久我們就發(fā)現(xiàn)了一個較為致命的問題，機(jī)械手每次的放置位置差異太大。給近百個圖形的校對造成很大有麻煩，有時一天也較對不了一片。且校對好了一片，下一片放置的位置又和上次不一樣。這樣的效率顯然無法正常使用。

    平?jīng)鰡挝坏耐疽辉俚牟檎覇栴}，最后一致表示，還是裝配工藝的問題，但具體問題在什么地方，無法查清，有一點(diǎn)很明確，平?jīng)鰡挝辉趪鈱W(xué)習(xí)的人員反映原裝的設(shè)備在工作是機(jī)械手的工作是正常的。

裝配歷時一月有余，調(diào)整兩月未果，由此雙方單位也出現(xiàn)了嫌隙。無法正常使用，還大量的占用了人力和資源，驗(yàn)收不合格無法付費(fèi)，平?jīng)鰡挝坏乃懈冻鲆哺吨畺|流。各種辦法都想盡了，設(shè)備依然如此。

    時間消退了起初的熱情，最后平?jīng)鰡挝怀坊厝咳藛T說是回去再研究一下。直到半年之后又來了一位總工拍板宣布：裝配工藝無法滿足要求，問題無法解決。

    兩月之后，平?jīng)鰡挝粚⒃O(shè)備拆卸打包運(yùn)回。至于如何處理不得而知。

    約兩年之后，國外芯體大量涌入敞開的國家大門，較早的瑞士KELLER，然后是精量，還有摩托羅拉等，都想從中國的市場中分得一杯羹.起初的價(jià)格約一千多元人民幣。隨著國產(chǎn)芯體的出現(xiàn)價(jià)格逐漸回落，直到現(xiàn)在價(jià)格已相差無幾。從實(shí)際出發(fā)來說，我們的傳感器芯體質(zhì)量還是較國外有很大差距。首先在芯片質(zhì)量上，再者就是工藝所造成的差距。